מערכות מיקרואלקטרומכנית

להגדלת הטקסט להקטנת הטקסט
  • נושא
| מספר מערכת 987007546964905171
מידע על הזהות:
שם ראשי (עברית)
מערכות מיקרואלקטרומכנית
שם ראשי (לועזית)
Microelectromechanical systems
שם ראשי (ערבית)
מערכות מיקרואלקטרומכנית
רמיזות
MEMS (Microelectromechanical systems)
Micro-electro-mechanical systems
Micro-machinery
Microelectromechanical devices
Micromachinery
Micromachines
Micromechanical devices
Micromechanical systems
נושא איתו מזוהה
Electromechanical devices
Microtechnology
Mechatronics
MARC
MARC
מזהים נוספים
Wikidata: Q175561
Library of congress: sh 97007351
מקורות מידע
  • Work cat.: 96069475: Microelectronic structures and MEMS for optical processing II, 1996:
  • Eng. ind.
  • BPI
  • ASTI on FirstSearch, Sept. 26, 1997
  • INSPEC on FirstSearch
  • LC database, Sept. 26, 1997
  • Univ. of Wash. Center for Applied Microtechnology (CAM) WWW home page, Dec. 12, 2001:
1 / 4
תקציר מויקיפדיה:

MEMS (ראשי תיבות של: Micro Electro Mechanical System, תרגום: "מערכת מיקרו אלקטרו-מכנית") היא משפחה של טכנולוגיות, חומרים ומעגלים משולבים ממוזערים ברמות מיקרו וננו (NEMS), המכילות רכיבים ומערכות אופטיות, אלקטרוניות ומכניות (MOEMS), וביולוגיות (Bio-MEMS). פוטנציאל המכונות הממוזערות הובן שנים רבות לפני פיתוח הטכנולוגיה וביטוי לכך הובא בהרצאתו של פרופסור ריצ'רד פיינמן בשנת 1959 "יש שפע מקום בתחתית". הטכנולוגיה הפכה למעשית כאשר אומצו טכנולוגיות ייצור מתחום המעגלים המשולבים בהם ריבוץ, אילוח, חמצון, דפיסה (Molding), ציפוי וטכנולוגיות מזעור ושילוב נוספות.

לקריאת הערך המלא בויקיפדיה >